按照半导体变化的物理特性,又可分电阻型和非电阻型两类。电阻型半导体气敏元件是利用敏感材料接触气体时,其阻值变化来检测气体的成分或浓度;非电阻型半导体气敏元件是利用其他参数,如二极管伏安特性和场效应晶体管的阈值电压变化来检测被测气体。表 5-1 为半导体气敏元件的分类,SnO2(氧化锡)是应用最多的一种气敏元件。[1]