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微机械加工

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基本内容

微机电系统中的微机械加工方法可大致分为以下三 类

①利用传统的超精密加工及特种加工技术实现微机械加工。

②基于集成电路制造工艺的微机械加工技术。这类方法具有微电子技术的精度高、成本低的优点。

③一些迅速发展的有前景的微机械加工技术，如光刻电铸模造(Lithographie Galvano-formung

Abformung，LIGA)工艺等。

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