刘世元

　　1970年9月生，博士，教授，博士生导师。教育部“新世纪优秀人才支持计划”入选者。IEEE、IMechE、中国微米纳米技术学会、中国机械工程学会高级会员。1998年毕业于华中理工大学机械制造专业，获工学博士学位 教授风范；2000年至2001年赴英国曼彻斯特大学进行为期1年的访问与客座研究，从事图像模式识别与设备故障诊断方面的研究；2002年至2005年在上海微电子装 备有限公司暨国家光刻工程技术研究中心，从事国家863重大专项“100nm分辨率步进扫描投影光刻机”的攻关研制，为该重大专项总体组成员、控制学科总负责人。2006年获教育部“新世纪优秀人才支持计划”。现任武汉光电国家实验室（筹）光电材料与微纳制造研究部及华中科技大学机械科学与工程学院教授、机械电子信息工程系副主任，从事微机电系统(MEMS)、微纳设备与工艺、精密测试与仪器、设备监测与诊断等方面的教学和研究工作。

2018年1月18日，政协湖北省第十一届委员会常务委员会第二十一次会议通过，任命刘世元为政协湖北省第十二届委员会委员。^[1]

　　近年来主持了包括国家自然科学基金“基于相似性的时间序列表示与模式发现理论和方法研究”、国家863项目“高深宽比微纳深沟槽结构基于模型的红外反射谱测量方法与设备”、“MEMS动态特性频闪干涉视觉三维测量技术及系统”和“频闪干涉视觉三维测量方法与设备”、国家863重大专项子课题“光刻机超精密调焦调平与自动对准系统”和“准分子激光高性能剂量控制系统”在内的10余项国家级科研项目。在微纳制造与测试技术、100nm分辨率步进扫描投影光刻机自主研制、复杂机械设备故障诊断理论与方法等方面开展了卓有成效的研究，取得了一批有影响的研究成果。申请或已授权国家发明专利5项，发表学术论文50余篇，其中SCI和EI收录30余篇。

　　1. 刘世元, 裴辛哲, 周畅, 陈勇辉. 步进扫描光刻机连续扫描同步控制方法和系统. 专利号: ZL200410066384.3

　　2. 刘世元, 陈勇辉, 池峰, 周畅, 韦学志. 步进扫描投影光刻机同步总线控制器及同步控制系统. 申请号: 200510023858.0

　　3. 刘世元, 陈勇辉, 韦学志, 池峰. 步进扫描投影光刻机的高速同步广播总线及总线平台. 申请号: 200520023859.5

　　4. 史铁林, 刘世元, 白金鹏, 谢勇君. 微机电系统动态特性三维测量装置. 专利号: ZL03241230.4

　　5. 史铁林, 白金鹏, 谢勇君, 刘世元, 王海珊. 一种具有环境加载功能的微机电系统动态特性测量装置. 申请号: 200510018927.9

　　1. Shiyuan Liu, Fengshou Gu, Andrew Ball. Detection of engine valve faults by vibration signals measured on cylinder head. Journal of Automobile Engineering, Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part D, 2006, 220(D3): 379-386

　　2. Shiyuan Liu, Li Lu, Guanlan Liao, Jianping Xuan. Pattern discovery from time series using growing hierarchical self-organizing map. Lecture Notes in Computer Science, 2006, 4232: 1030-1037

　　3. Yongjun Xie, Shiyuan Liu, Tielin Shi, Haishan Wang, Wendong Zhang. Measurement system for MEMS dynamics characterization with environmental control facility. Proceedings of 1st IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2006, 1057-1061

　　4. 刘世元, 吴小健. 深紫外准分子激光实时曝光剂量控制算法研究. 光学学报, 2006, 26(6): 878-884

　　5. 刘世元, 吴小健. 步进扫描投影光刻机剂量控制参数优化新算法研究. 光学学报, 2006, 26(8

　　家庭): 1192-1197

　　6. 易朋兴, 刘世元, 杜润生, 杨叔子. 分布式监测系统可靠性贝叶斯评估. 华中科技大学学报, 2006, 33(3): 42-45

　　7. Guanglan Liao, Tielin Shi, Shiyuan Liu, Jianping Xuan. A novel technique for data visualization based on SOM. Lecture Notes in Computer Science, 2005, 3696: 421-426

　　8. Yi Pengxing, Yang Shuzi, Du Runsheng, Wu Bo, Liu Shiyuan. Distributed monitoring system reliability estimation with consideration of statistical uncertainty. Chinese Journal of Mechanical Engineering, 2005, 8(4): 519-524

　　9. 谢勇君, 刘世元, 史铁林. MEMS三维动态测试系统的同步控制方法. 仪器仪表学报, 2005, 16(10): 1089-1092

　　10. 王峻峰, 史铁林, 刘世元, 何岭松. 基于主分量分析的信号白化解相关处理. 中国机械工程, 2005, 16(21): 1954-1956

　　11. 廖广兰, 史铁林, 姜南, 刘世元. 基于SOM网络的特征选择技术研究. 机械工程学报, 2005, 41(2): 46-50

　　12. 易朋兴, 杜润生, 杨叔子, 刘世元. 基于Markov模型的分布式监测系统可靠性研究. 机械工程学报, 2005, 41(6): 143-148

　　13. 廖广兰, 史铁林, 来五星, 姜南, 刘世元. 基于核函数PCA的齿轮箱状态监测研究. 机械强度, 2005, 17(1): 1-514. Guanglan Liao, Shiyuan Liu, Tielin Shi, Guicai Zhang. Gearbox condition monitoring using self-organising feature maps. Journal of Mechanical Engineering Science, Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part C, 2004, 218(C1): 119-129

　　15. 刘世元, 江浩. 时间序列相似性概念体系的探讨与研究. 华中科技大学学报, 2004, 32(7): 75-77

　　16. 刘世元, 江浩. 面向相似性搜索的时间序列表示方法述评. 计算机工程与应用, 2004, 40(27): 53-59

　　17. 廖广兰, 史铁林, 刘世元. 基于非线性映射的特征提取技术研究. 华中科技大学学报, 2004, 32(12): 54-56

　　18. Guanglan Liao, Tielin Shi, Shiyuan Liu. Gearbox condition monitoring based on curvilinear component analysis. Key Engineering Materials, 2003, 245: 249-256

　　19. 陈勇辉, 刘世元, 廖广兰. 四辊冷带轧机三倍频颤振机理的研究. 机械工程学报, 2003, 39(6): 118-123

　　20. 胡颖勇, 刘世元, 史铁林. ADO技术及其在轧机在线监测与故障诊断系统中的应用. 计算机工程与应用, 2003, 39(15): 205-207

　　21. 孔文军, 刘世元, 杜润生. 神经网络与遗传算法在传统化工企业中的应用. 计算机工程，2003, 29(17): 193-19422. Shiyuan Liu, Fengshou Gu, Andrew Ball. The on-line detection of engine misfire at low speed using multiple feature fusion with fuzzy pattern recognition. Journal of Automobile Engineering, Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part D, 2002, 216(D6): 391-400

　　23. Yonghui Chen, Shiyuan Liu, Tielin Shi, Shuzi Yang. Stability analysis of the rolling process and regenerative chatter on 2030 tandem mills. Journal of Mechanical Engineering Science, Proceedings of the Institution of Mechanical Engineers, Part C, 2002, 216(C12): 1225-1235

　　24. 胡颖勇, 刘世元, 史铁林. 大型轧机主传动系统在线监测研究. 华中科技大学学报, 2002, 30(10): 26-28

　　25. 胡颖勇, 刘世元, 陈勇辉, 史铁林. 应变扭矩仪测量信号的无线传输技术. 传感器技术, 2002, 21(12): 1-3

　　26. Shiyuan Liu, Fengshou Gu, Andrew Ball. The modelling of a diesel fuel injection system for the non-intrusive monitoring of its condition. Proceedings of the 14th International Congress on Condition Monitoring and Diagnostic Engineering Management (COMADEM 2001), 2001, 849-856

　　27. 刘世元, 杜润生, 史铁林, 杨叔子. 汽车发动机各缸工作不均匀性的一种在线监测方法. 中国机械工程, 2001, 12(10): 1154-1158

　　育有一子刘祥怡，就读于武汉外校初中部。另系著名经济学家张培刚女婿。 ^[2]