扫描干涉仪

scanning interferometer 使法布里—珀罗标准具（见法布里－珀罗干涉仪） 两反射面间的光程连续地改变（扫描）的仪器。它的种典型结构如图所示。图a 扫描干涉仪原理图是把准具置于真空室中，用调节真空室的气压去改变折射实现扫描。图b 扫描干涉仪原理图是把标准具置于封的真空室中，利用改变施加到 电致伸缩元件上的电去调节两反射面的间隔，实现扫描。