1998年毕业于华中科技大学获得博士学位。
2001年加盟北京大学微电子学研究院。
2004年至2006年,在美国加州大学戴维斯分校与凯斯西储大学任访问教授。
2006年参与发起IEEE NEMS国际会议,
2007年发起美新杯微纳传感器应用大赛,
2009年发展为国际大学生物联网创新创业大赛(iCAN),担任大赛主席至今。
微纳设计与加工技术、SiC MEMS技术、微能源技术
担任Tranducers11等多个国际会议的组织委员会主席,担任多个国际杂志的编委和审稿人。
主持国家973、863、自然科学基金重点项目等重要科研项目二十余项,
在国内外重要学术期刊和国际会议上发表学术论文100多篇,取得软件著作权8项,发明专利6项;出版著作和译著5本。
2006年获得国家技术发明二等奖,
2004年北京大学优秀班主任三等奖,
2007年北京大学优秀青年教师教学奖。
2020年6月,福布斯中国发布2020科技女性榜,张海霞上榜。[3]