波面干涉仪

wave surface interferometer 用以检测光学元件的面形、 光学镜头的波面像差及光学材料均匀性等的一种精密仪器。其 测量精度一为□/10～□/100, □为检测用光源的平均波长。常用的面 干涉仪为泰曼干涉仪和 斐索干涉仪。泰曼干涉仪由两个准直 透镜、 分束器、标准平板及标准 球面镜所组成。 单色光经小孔、光源 准直透镜被分束器分解成参考 光束和检测光束。