斐索干涉仪

斐索干涉仪原理为 等厚干涉，用以检测光学元件的面形、光学镜头的波面像差以及光学材料均匀性等的一种精密仪器。其测量精度一般为/10～/100,为检测用光源的平均波长。常用的 波面干涉仪为泰曼干涉仪和 斐索干涉仪。 　　斐索干涉仪有平面的和球面的两种，前者由 分束器、准直物镜和标准平面所组成，后者由 分束器、有限共轭距物镜和标准球面所组成。单色光束在标准平面或标准球面上，部分反射为参考光束；部分透射并通过被测件的，为检测光束。检测光束自准返回，与参考光束重合，形成 等厚干涉条纹。用斐索平面干涉仪可以 检测平板或棱镜的表面面形及其均匀性。用斐索球面干涉仪可以检测球面面形和其曲率半径，后者的测量精度约1微米；也可以检测无限、有限共轭距镜头的波面像差。

斐索光纤干涉仪如图所示。光源发出的激光束经偏振片P1、3dB分路器及传输光纤耦合进自聚焦透镜GL，由GL出射的光束照到被测物体的表面，自聚焦透镜GL的入射端面M1于被测物体的表面M2构成斐索干涉腔，M1和M2的反射光束相干，相干光经3dB分路器分束通过偏振片P2后由光电探测器接收。偏振片P1与P2正交放置，以消除自聚焦透镜GL入射端面回射光的干扰。外界信号（被测量）通过改变斐索腔二反射面M1和M2之间的间距对光纤中的光相位进行调制。