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离子减薄仪及处理附件

离子减薄仪及处理附件

中文名 离子减薄仪及处理附件
学科领域 信息与系统科学相关工程与技术
所属类别 分析仪器>质谱仪器
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技术指标

1、减薄角度 10 ° ~-10 ° ，每只离子枪可独立调节，样品台可以旋转，转速1~6rpm可调，可以实现X和Y方向 /-0.5mm移动。 2、配有高精度凹坑仪、超声波切片机、手动研磨盘、样品加热台和圆片打孔机等附件。

主要功能

利用氩离子束减薄样品，满足透射电镜观察所需要的薄区。

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