低电流TEM样品薄化仪和附件

低电流TEM样品薄化仪和附件

中文名 低电流TEM样品薄化仪和附件
学科领域 物理学、材料科学
所属类别 工艺试验仪器>电子工艺实验设备>电真空器件工艺实验设备
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技术指标

低压可至0.1kV,温度可至液氮温区。

主要功能

电镜样品的(低温)离子减薄。

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