微波固态信号发生器是指利用微波半导体二极管或微波晶体管产生微波振荡的信号发生器。常用的半导体二极管为具有负阻特性的雪崩二极管和体效应(耿氏)二极管。当在雪崩二极管上加直流恒流源或在体效应二极管上加直流恒压源,并以一定方式与微波谐振腔耦合就可产生微波振荡。体效应振荡器最高频率可达100吉赫兹,输出功率为毫瓦级,可用作小功率源、混频器本振源和参量放大器泵源;雪崩管振荡器最高频率可达300赫,功率大于体效应振荡器,但其调幅调频噪声较大。