微光机电系统

　　 书 名: 微光机电系统
　　作　者：(美国)莫塔麦迪
　　 出版社： 国防工业出版社
　　出版时间： 2010年01月
　　 ISBN: 9787118063653
　　开本： 16开
　　定价: 68元

　　《微光机电系统》内容简介：近代光学和 光电子技术的迅速发展使光电子仪器及其元件（包括光学元件和 机械零件）发生了巨大的变化，最重要的变化之一是从宏观概念发展到微观概念，因此，形成了不同的微光学仪器研究领域:微光学系统（Micro-Optics）、 微机电系统（ MEMS）和微光机电系统（MOEMS）。
　　 微光学元件是应用现代微加工技术，例如光学 蚀刻技术、 激光束直写和 电子束直写以及反应 离子束蚀刻技术制造出的一类光学零件，一般地，这种元件的外形尺寸是微米 数量级。微光学元件包括 衍射和折射两种，例如微 透镜、微 反射镜、微扇出 光栅、最佳相位元件和偏振器等，已经成为实现（而利用传统的光学元件不可能实现或者是不现实的）各种光学功能的强有力工具，几乎在所有的工程应用领域中，特别是在现代国防科学技术领域中有重要的应用价值和广阔的应用前景。与传统的光学元件相比，微光学元件最大的优点就是可以将大的复杂光学 系统集成为非常紧凑的形式，使光电子仪器及其零部件更加小型化、阵列化和集成化，因此，微光学元件是制造小型或超小型光电子系统的关键元件。

　　第1章 概述
　　第2章 微机械加工技术
　　第3章 微光学
　　第4章 致动器和传感器
　　第5章 微光学元件，测试和应用
　　第6章 纤维光学系统
　　第7章 光学扫描
　　第8章 显示和成像系统
　　第9章 自适应光学
　　第10章 MEMS和MOEMS的 计算机辅助设计及模拟
　　第11章 MEMS和MOEMS的封装
　　第12章 MEMS和MOEMS材料
　　书中缩略语注释
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《微光机电系统》由国防工业出版社出版。

作者：(美国)莫塔麦迪(Manouchehr E.Motamedi) 译者：周海宪 程云芳 解说词：周华君 程林

近代光学和光电子技术的迅速发展使光电子仪器及其元件（包括光学元件和机械零件）发生了巨大的变化，最重要的变化之一是从宏观概念发展到微观概念，因此，形成了不同的微光学仪器研究领域：微光学系统（Micro-Optics）、微机电系统（MEMS）和微光机电系统（MOEMS）。
微光学元件是应用现代微加工技术，例如光学蚀刻技术、激光束直写和电子束直写以及反应离子束蚀刻技术制造出的一类光学零件，一般地，这种元件的外形尺寸是微米数量级。微光学元件包括衍射和折射两种，例如微透镜、微反射镜、微扇出光栅、最佳相位元件和偏振器等，已经成为实现（而利用传统的光学元件不可能实现或者是不现实的）各种光学功能的强有力工具，几乎在所有的工程应用领域中，特别是在现代国防科学技术领域中有重要的应用价值和广阔的应用前景。与传统的光学元件相比，微光学元件最大的优点就是可以将大的复杂光学系统集成为非常紧凑的形式，使光电子仪器及其零部件更加小型化、阵列化和集成化，因此，微光学元件是制造小型或超小型光电子系统的关键元件。
微机械加工技术与集成电路的发展密切相关，批量生产和减小尺寸是集成电路高度商业化成功的关键，微传感器得到了非常广泛的应用。因此，微机械加工技术是微电子处理工序中一种很重要的方法，对大量的微米级结构，例如沟、槽、微型梁和桥都必须使用微机械加工技术。微机电系统（MEMS）是利用微加工技术制造出的三维机械一电子装置，一个典型的M。EMS装置至少包含一个可运动结构以满足某种机械作用的需要，顾名思义，MEMS装置由电子和机械两种元件组成。在美国和其他国家，尤其在欧洲的一些国家，所有研发微系统的项目都广泛以缩写MEMS代表微电子一机械系统（micro-electro-mechanicalsystems）。