问MEMS加工工艺 介绍

光刻 腐蚀 薄膜 扩散 外延 键合 等等等等 这是很深的一门学问，足够研究一辈子

MEMS----Micro-Electro-Mechanical Systems(美国)微机电系统，也称为微机械（日本）或微系统（欧洲）。它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。 MEMS概述 特点 微型化：体积小、重量轻、耗能低、惯性小 以硅为主要材料，机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似铝，热传 导率接近钼和钨 批量生产：降低生产成本 集成化 多学科交叉：涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科