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问谁能给个磁控溅射ALN的工艺？和溅射是要注意哪些？？

#磁控溅射镀膜# #磁控健身车# #汽车大修工艺# #工艺性空调# #汽车维护工艺#

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蓝色树叶熊
2025-10-09

搜一下：谁能给个磁控溅射ALN的工艺？和溅射是要注意哪些？？

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匿名
2025-10-09

镀膜气压在直流磁控溅射最好的为0.3-0.5Pa之间，这时候电子的寿命和溅射至于氮气流量就要看你要的是什么样的膜层，如果是纯净的氮化物，那就在调节

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