1.热式气体质量流量控制器(mfc),里面有个温度传感器和速度传感器,流量大小通过高性能比例电磁阀,通过0-5v电压调节阀芯开度大小或频率来精确控制介质的流量大小2.热气气体质量流量控制器,ae流量计,可控量程2sccm-200slm,流量大小,客户只要是在这个范围的流量需求,都能为您选型,通过真空镀膜行业的一些客户了解到 ,他们一般使用的都是微小流量的mfc,集中在100sccm/min 500sccm/min 1000sccm/min3.进口压力:最大1mpa 正常工作压力:0.5mpa mfc不受气体的温度和压力影响它的精度和重复性精度,响应时间快1秒以内达到设定值4.一般mfc都是以氮气标定的,如客户需要的是测量ar流量,出厂时,厂家就按氩气标定好,也可提供氩气和氮气之间换算的比列系数,你只要乘以这个系数就可以,进气口压力大小都是一样的