物质受热发生分解的反应过程。许多无机物质和有机物质被加热到一定程度时都会发生分解反应。热解过程不涉及催化剂,以及其他能量,如紫外线辐射所引起的反应。
热解石墨是新型炭素材料,是高纯碳氢气体在一定的炉压下,在1800℃~2000℃的石墨基体上经化学气相沉积出的较高结晶取向的热解碳,它具有高密度(2.20g/cm)、高纯度(杂质含量(0.0002%)和热、电、磁、力学性能各向异性。在1800℃左右仍能维持10mmHg的真空度。
石墨加热器
导流桶
PBN/PG复合加热器[1]
原子吸收管
Ø 表面致密,无气孔,易机械加工。
Ø 纯度高,总杂质含量<20ppm,气密性好。
Ø 耐高温,强度随使用温度升高而增加,2750℃时强度达到最高値3600℃升华。
Ø 弹性模量低,导热率高,热膨胀系数小,制品优良好的抗热震性能。
Ø 化学稳定性好,耐酸、碱、盐及有机试剂,对熔融金属、炉渣和其他腐蚀性介质均不起作用,在大气中400℃以下氧化不明显,800℃时氧化速度明显增加。
Ø 高温下不放任何气体,在1800℃左右能维持10-7mmhg的真空。
Ø 半导体行业中,拉制硅单晶导流筒。
Ø 半导体行业石墨加热器涂层。
Ø 晶片退火工艺PBN/PG复合加热器涂层。
Ø 分析仪器用的原子吸收管热解石墨涂层。
Ø 电子束蒸发蒸铝坩埚。
性能 | 单位 | 数值 | |
表观密度 | g/cm3 | 2.2 | |
氦,透过率 | cm3/s | <,1×,10-12 | |
抗张强度 | 室温 | 2750℃ | |
Mpa | 98(力⊥“C”向) | 264(力⊥“C”向) | |
抗压强度 | 室温 | 室温 | |
Mpa | 64,11(力⊥“C”向) | 304(力||“C”向) | |
抗弯强度 | 室温 | 室温 | |
Mpa | 127(力⊥“C”向) | 118(力||“C”向) | |
热传导率 | W/m·k | 376,(“a”向) | 2(“C”向) |
热膨胀 | 10℃-1 | 1,26,(“a”向) | (50-800℃) |
电阻率 | Ω·cm | 2×,10-4(“a”向) | 0,5(“C”向) |
性能 | 单位 | 数值 | |
表观密度 | g/cm3 | 2.2 | |
氦,透过率 | cm3/s | <,1×,10-12 | |
抗张强度 | 室温 | 2750℃ | |
Mpa | 98(力⊥“C”向) | 264(力⊥“C”向) | |
抗压强度 | 室温 | 室温 | |
Mpa | 64,11(力⊥“C”向) | 304(力||“C”向) | |
抗弯强度 | 室温 | 室温 | |
Mpa | 127(力⊥“C”向) | 118(力||“C”向) | |
热传导率 | W/m·k | 376,(“a”向) | 2(“C”向) |
热膨胀 | 10℃-1 | 1,26,(“a”向) | (50-800℃) |
电阻率 | Ω·cm | 2×,10-4(“a”向) | 0,5(“C”向) |