在高掺杂的情况下,因耗尽层宽度很小,不大的反向电压就可在耗尽层形成很强的电场,而直接破坏共价键,使价电子脱离共价键束缚,产生电子—空穴对,致使电流急剧增大,这种击穿称为齐纳击穿。也称为隧道击穿。齐纳击穿是暂时性的,可以恢复。
齐纳击穿一般发生在低反压、高掺杂的情况下。