激光剥离技术
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基本内容
技术优点是外延片转移到高热导率的热沉上,能够改善大尺寸芯片中电流扩展。n面为出光面:发光面积增大,电极挡光小,便于制备微结构,并且减少刻蚀、磨片、划片,更重要的是蓝宝石衬底可以重复运用。
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