- 二氯甲硅烷
二氯甲硅烷
化学式
SiH2Cl2
相对分子量为101.007
简述
在室温和大气压力下，二氯甲硅烷是无色、易燃和有毒的气体。其沸点为8.3℃.它具有刺激性气味。在潮湿空气中发烟，生成氢氯酸和聚硅氧烷混合物。
用途
二氯甲硅烷主要用于外延硅的淀积工艺。
化学性质
二氯甲硅烷遇水水解，生成氢氯酸和聚硅氧烷混合物。与三烷基胺反应生成固态加合特[如与三甲胺反应生成SiH2Cl2·N(CH3)3]和吡啶。用三氟化锑处理可生成二氟甲硅烷。在约1000℃温度时，可沉积出具有优良质量的均匀的外延硅结晶层。在1100℃下，二氯甲硅烷的沉积速度比三氟氢硅高很多。
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